5-osiowe frezowane ceramiczne izolatory do urządzeń półprzewodnikowych i pomieszczeń czystych

W pełnym wyzwań świecie produkcji półprzewodników i środowisk czystych każdy komponent musi zapewniać nieskazitelną wydajność.PFT, specjalizujemy się w rzemiośleIzolatory ceramiczne frezowane 5-osiowoktóre na nowo definiują precyzję i niezawodność. Z ponad 20Dzięki wieloletniemu doświadczeniu nasze rozwiązania są projektowane tak, aby spełniać rygorystyczne wymagania sprzętu półprzewodnikowego, gwarantując stabilność termiczną, izolację elektryczną i pracę bez zanieczyszczeń w niezwykle wrażliwych warunkach.

Dlaczego warto wybrać nasze izolatory ceramiczne frezowane w 5 osiach?

1.Zaawansowane możliwości produkcyjne

Nasz obiekt wyposażony jest wnajnowocześniejsze 5-osiowe frezarki CNC, umożliwiając precyzję na poziomie mikronów w kształtowaniu zaawansowanej ceramiki, takiej jak tlenek glinu (Al₂O₃), węglik krzemu (SiC) i azotek glinu (AlN). W przeciwieństwie do konwencjonalnych metod, obróbka 5-osiowa pozwala na uzyskanie złożonych geometrii – kluczowych dla komponentów takich jak kołki podnoszące płytki, części komory osadzania i izolatory odporne na działanie plazmy.

Główne cechy:

•Precyzja:Tolerancja ±0,005 mm umożliwia bezproblemową integrację z narzędziami litograficznymi ASML lub systemami trawienia Lam Research.
•Wszechstronność materiałów:Zoptymalizowany pod kątem zawartości 99,8% tlenku glinu, czystego SiC i innych zaawansowanych materiałów ceramicznych.
•Wykończenie powierzchni:Ra <0,2μm w celu ograniczenia powstawania cząstek stałych w pomieszczeniach czystych klasy ISO 1.

2.Inżynieria procesów własnościowych

Nasi inżynierowie opracowalisterowanie procesami w pętli zamkniętejktóre dostosowują się do kruchości ceramiki podczas obróbki. Łącząc techniki frezowania na sucho z tłumieniem drgań w czasie rzeczywistym, osiągamy powierzchnie bez pęknięć i dłuższą żywotność komponentów – nawet w ekstremalnych cyklach termicznych (do 1600°C).

Innowacje w centrum uwagi:

•Protokoły łagodzenia stresu:Minimalizacja mikropęknięć w izolatorach AlN w zastosowaniach CVD.
•Zabiegi po obróbce:HIP (prasowanie izostatyczne na gorąco) zwiększa gęstość i odporność na korozję.

3.Rygorystyczne zapewnienie jakości

Każdy izolator podlega12-etapowa kontrola, w tym:

•CMM (współrzędnościowa maszyna pomiarowa)walidacja wymiarów krytycznych.
•Badanie szczelności helemw celu zapewnienia kompatybilności z próżnią.
•EDS (spektroskopia rentgenowska z dyspersją energii)w celu sprawdzenia czystości materiału.

NaszSystem certyfikowany ISO 9001/14001zapewnia możliwość śledzenia materiału od momentu zakupu surowców (pozyskiwanych od dostawców pierwszego poziomu, takich jak CoorsTek) aż do końcowego pakowania.

Zastosowania: gdzie precyzja spotyka się z wydajnością

Naszym izolatorom ufają:

•Narzędzia do trawienia i osadzania:Komponenty pokryte SiC zapewniające odporność na plazmę w modułach Applied Materials™.
•Implantatorzy jonowi:Kołki podnoszące wykonane z tlenku glinu z powłoką antystatyczną, zapobiegającą ślizganiu się płytki.
•Systemy metrologiczne:Izolatory o niskim współczynniku rozszerzalności cieplnej do stolików litograficznych EUV.

Studium przypadku:Wiodący producent półprzewodników zredukował przestoje narzędzi o 40% po przejściu na nasze specjalnie zaprojektowane głowice natryskowe SiC, które przewyższyły jakością części konkurencji w obróbce płytek o średnicy 300 mm.

Poza produkcją: podejście partnerskie

•Szybkie prototypowanie:Prześlij pliki CAD i otrzymaj funkcjonalne prototypy w ciągu 7 dni.
•Pakowanie w pomieszczeniu czystym na miejscu:Opcjonalny montaż w pomieszczeniu czystym klasy 10 umożliwiający bezpośrednią integrację narzędzi.
•Dożywotnie wsparcie techniczne:Nasi inżynierowie zajmują się analizą zużycia i ponowną obróbką mechaniczną w celu wydłużenia cyklu życia komponentów.